六羰基钨
证券之星消息，根据企查查数据显示南大光电（300346）新获得一项发明专利授权，专利名为“高纯六羰基钨的提纯方法”，专利申请号为CN202210548266.4，授权日为2024年3月12日。
专利摘要：本发明公开了高纯六羰基钨的提纯方法，先对原料除水处理，采用放置真空烘箱的方式对六羰基钨除水；于无氧无水惰性气氛升华，采用升华柱对原料进行升华，去除低沸点馏分和高沸点杂质，收集中间段馏分；体系高真空操作，采用高真空改变系统的蒸气压，并不断改变系统真空度，分离掉低沸点和高沸点杂质；刮料，收集高纯的六羰基钨。有效去除六羰基钨中的有机杂质，并且通过ICP‑OES的全元素检测，该纯化方法可以除去六羰基钨中的无机杂质，所有的无机杂质含量小于1ppm，该纯化方法获得的六羰基钨纯度高达99.9999％，满足半导体行业的原料使用要求。
今年以来南大光电新获得专利授权8个，较去年同期增加了300%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了7893.21万元，同比减7.09%。
数据来源：企查查
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