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硅片扩散

来源:baiyundou.net   日期:2024-09-25

金融界2024年3月8日消息,据国家知识产权局公告,横店集团东磁股份有限公司申请一项名为“硼扩散方法、太阳能电池及其制备方法“,公开号CN117673191A,申请日期为2022年8月。

专利摘要显示,本发明涉及一种硼扩散方法、太阳能电池及其制备方法。该硼扩散方法包括以下步骤:将制绒清洗后的硅片置于扩散设备中;在预设压力和预设温度下,向扩散设备中通源进行沉积,其中,通源包括通入硼源、氧气、水蒸气以及第一保护性气体,硼源、氧气以及水蒸气的体积比为1.8∶7.2∶1‑2.3∶8.2∶1以及升温,采用第二保护性气体对沉积后的硅片进行吹扫。该硼扩散方法能够使B均匀分布于硅片表面,从而使制得的硼扩后硅片具有优异的方阻均匀性,能够更好的应用于制备太阳能电池。

本文源自金融界

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常蓉居2792什么是扩散炉 -
牧邢樊15012654993 ______ 扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域.虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂,但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法.硅的热氧化作用是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应,生长一层二氧化硅膜.氧化方法有干氧氧化和水汽氧化(含氢氧合成)两种,扩散炉是用这两种氧化方法制备氧化层的必备设备.扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备,它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展.

常蓉居2792单晶硅太阳能电池有硅还有哪些材料? -
牧邢樊15012654993 ______ 将单晶硅棒切成片,一般片厚约0.3毫米.硅片经过抛磨、清洗等工序,制成待加工的原料硅片.加工太阳能电池片,首先要在硅片上掺杂和扩散,一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等.扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行.这样就硅片上形成P>N结.然后采用丝网印刷法,精配好的银浆印在硅片上做成栅线,经过烧结,同时制成背电极,并在有栅线的面涂覆减反射源,以防大量的光子被光滑的硅片表面反射掉.因此,单晶硅太阳能电池的单体片就制成了.单体片经过抽查检验,即可按所需要的规格组装成太阳能电池组件(太阳能电池板),用串联和并联的方法构成一定的输出电压和电流.最后用框架和材料进行封装.希望可以帮助你哈

常蓉居2792进行限定源扩散,在扩散40min后,测得结深是2.1μm,若要获得2.3μm...
牧邢樊15012654993 ______ 我明白你的意思了.现在工业生产太阳能电池片的硅片,都是P型衬底,意思是之前已经掺杂三族元素了,我们只需要进行磷扩散,就可以形成P-N结. 以n型半导体为底板结构的结晶硅类太阳能电池与以p型半导体为底板的结构相比,前者对杂质的抵抗性更大,在理论上更易提高能量转换效率.不过,此前许多结晶硅类太阳能电池几乎都采用以p型半导体为底板的结构.原因是在较厚的p型半导体上能够形成非常薄的n型半导体层. 德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(Fraunhofer ISE)宣布,该机构研制的以n型半导体为底板,然后在其上面形成较薄的p型半导体层的单晶硅太阳能电池,其能量转换效率达到了23.4%.太阳能电池单元面积为2cm见方.

常蓉居2792什么是恒定源扩散 -
牧邢樊15012654993 ______ 硅片表面的杂质浓度不变的扩散.------------------------------- 预淀积 相对的是限定源扩散---硅片表面的杂质总量不变的扩散.---------------------------------------------------- 再扩散

常蓉居2792单晶硅太阳能电池有硅还有哪些材料? -
牧邢樊15012654993 ______[答案] 将单晶硅棒切成片,一般片厚约0.3毫米.硅片经过抛磨、清洗等工序,制成待加工的原料硅片.加工太阳能电池片,首先要在硅片上掺杂和扩散,一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等.扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行.这样就硅...

常蓉居2792思考题 1.光电流是否随光源的强度变化?请解释 2.?
牧邢樊15012654993 ______ 首先得达到最低频率,其次光电流随着光源强度变化,光越强,电流越大. 暗电流是指P-N结在反偏压条件下,没有入射光时产生的反向直流电流.一般由于载流子的扩散...

常蓉居2792二氧化硅在集成电路中起什么作用 -
牧邢樊15012654993 ______ 二氧化硅在集成电路制作过程中,可以阻止杂质扩散,这就提供了选择扩散的可能,例如在硅片上生成一层完整的二氧化硅后,再利用光刻的办法,有选择地刻蚀掉某些部分的二氧化硅,然后的高温下掺杂(例如掺硼)就使这没有二氧化硅保护的区域有硼扩散进去了,这里因此变成了P型区(通常是基区).另外二氧化硅是良好的绝缘体,在集成电路制作过程最后要将分散的二极管,三极管,电阻等元件用铝条连接起来,有些地方需要连,也有些地方不要连,不要连的地方,用二氧化硅盖起来就行了,而需要连的地方,也用光刻的办法,有选择地刻蚀掉,就可以由经过的铝条,连起来了.

常蓉居2792有关单晶硅太阳能电池的一些知识有什么啊 -
牧邢樊15012654993 ______ 单晶硅太阳能电池是当前开发得最快的一种太阳能电池,它的构造和生产工艺已定型,产品已广泛用于空间和地面.这种太阳能电池以高纯的单晶硅棒为原料.为了降低生产成本,现在地面应用的太阳能电池等采用太阳能级的单晶硅棒,材料性...

(编辑:自媒体)
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