硼扩散+气体

金融界2024年3月8日消息，据国家知识产权局公告，横店集团东磁股份有限公司申请一项名为“硼扩散方法、太阳能电池及其制备方法“，公开号CN117673191A，申请日期为2022年8月。

专利摘要显示，本发明涉及一种硼扩散方法、太阳能电池及其制备方法。该硼扩散方法包括以下步骤：将制绒清洗后的硅片置于扩散设备中；在预设压力和预设温度下，向扩散设备中通源进行沉积，其中，通源包括通入硼源、氧气、水蒸气以及第一保护性气体，硼源、氧气以及水蒸气的体积比为1.8∶7.2∶1‑2.3∶8.2∶1以及升温，采用第二保护性气体对沉积后的硅片进行吹扫。该硼扩散方法能够使B均匀分布于硅片表面，从而使制得的硼扩后硅片具有优异的方阻均匀性，能够更好的应用于制备太阳能电池。

本文源自金融界

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