sem检测什么
金融界2024年3月5日消息，据国家知识产权局公告，三星电子株式会社申请一项名为“扫描电子显微镜（SEM）测量方法和装置“，公开号CN117647180A，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，提供了一种扫描电子显微镜(SEM)测量方法和/或装置，其根据相同图案的若干SEM图像中的关键尺寸(CD)测量中的测量区域的位置校正来减小CD离散。该SEM测量方法包括：经由SEM在晶片上的多个位置处获得各个SEM图像；通过对准各个SEM图像和合并各个SEM图像来生成合并的SEM图像；在合并的SEM图像中生成合并的测量区域；在各个SEM图像中生成与合并的测量区域相对应的各个测量区域；以及测量各个测量区域中的各个关键尺寸(CD)。
本文源自金融界
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