军代表有前途吗
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2024年2月3日,由陕西省技术转移中心指导,西安晟光硅研半导体科技有限公司组织的“微射流激光技术设备”科技成果评价会议在西安举行。此次会议对晟光硅研自主研发的“微射流激光技术设备”进行了科技成果评价。
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会议由陕西省技术转移中心 曹永红 主任主持,评价委员会专家组由西安电子科技大学 郝跃 院士担任组长、西北工业大学副校长 张开富 教授担任副组长,西安电子科技大学 周益春 教授、西北工业大学 孔繁成 教授、西安交通大学 张俊 教授、中国航发北京航空材料研究院 焦健 研究员、中国航天七七一研究所副所长 高文炜、中国航空制造技术研究院 张伟 研究员、国镓芯科(成都)半导体科技有限公司董事长 乔焜、军代表相关领导担任评价委员会专家组成员。西安电子科技大学 张玉明 教授、中芯聚源合伙人 祝鹏飞、中科长光创投合伙人 唐辰、上海超越摩尔基金执行总经理 贺红荔、七晟资本副总经理 曹海啸、山西天成半导体材料有限公司总经理 刘洋洋、山西天成半导体材料有限公司副总经理 赵红燕、化合物半导体(CSC)副社长 程丽娜等特邀嘉宾出席本次会议。
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晟光硅研总经理 杨森 博士从研究方法与技术路线、主要研究成果、技术成熟程度、成果应用情况及其前景分析、技术创新点等角度对“微射流激光技术设备”科技成果进行了汇报,并对该成果与国外同类技术的性能参数比较和一些全球首创的技术应用场景(如PEEK增强复合材料切割、碳化硅晶锭切割、氮化镓单晶材料切割)进行了详细介绍,随后带领专家组参观了晟光硅研公司展厅、微射流激光工艺实验室以及微射流激光设备组装基地。
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专家组在严格审阅相关技术文件、听取研究工作汇报和现场考察后,经过质询、讨论,从成果的创新性、先进性及社会经济效益等多个方面对该成果给予了综合评价,并签发了专家意见书。
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专家评审意见主要内容如下:“微射流激光技术设备”项目实现了解决半导体材料、航空航天特种材料等多种硬脆材料加工瓶颈的精密化加工制造技术,树立了行业新标杆,相关技术申请38件专利,其中已获授权发明专利5件、实用新型专利6件,已取得国军标9001资质认证,设备整体成熟度达到“国际先进”水平。
本次科技成果评价会的召开顺应了国家“四个面向”方针策略,晟光硅研微射流激光技术的研发定型,面向世界科技前沿、面向国家重大需求,充分发挥了该技术设备的社会效益和经济效益,进一步推进了技术成果的转化和应用范围,促进了创新链、产业链、价值链深度融合。
晟光硅研被权威专家认证为国内首个实现微射流激光设备的研发、制造以及多领域落地应用的高新技术企业,这不仅是业内对公司在硬脆材料尖端加工领域取得成果的认可,更是对公司技术研发创新实力的高度肯定。技术研发期间历经不断的自我纠错和埋首攻坚,如今的晟光硅研,已经成长为国内微射流激光技术领域的拓荒者,实现了该技术应用于国内航空航天特种材料市场与半导体材料市场的双登顶。未来,晟光硅研也将持续加大研发投入,加速微射流激光设备的迭代升级,不断拓展微射流激光加工技术的应用领域和性能边界,更积极地与全球产业链共振,引领硬脆材料加工技术革命的行业发展方向,成为开启全球化新阶段的中国力量。
据长三角G60激光联盟陈长军了解,晟光硅研成立于2021年2月,注册资本2474.6628万,研发中心位于陕西省西安市国家民用航天产业基地中国电科西安产业园,技术团队包括来自以西安电子科技大学为代表的国内外相关行业高校和Yole等研究机构的专家,是国内第一家完全实现商用化微射流激光先进技术设备的研发/制造企业,已通过数家国内典型客户、多个领域的验证并获得订单,全面进入批量应用前工艺匹配阶段。公司聚焦硬、脆、贵材料的传统加工瓶颈,以半导体碳化硅滚圆/切片/划片成熟应用为起点,已拓展覆盖领域包括但不局限于:氮化镓晶体、超宽禁带半导体材料(金刚石/氧化镓)、航空航天特种材料、LTCC碳陶基板、光伏、闪烁晶体等,致力成为硬脆材料加工全国领军者,为中国半导体发展插上“硬”翅膀。
该公司掌握的微射流激光先进技术在三代半切割领域具有独创性、开拓性与先导性,已成功完成6英寸碳化硅晶锭的滚圆、切片及划片,同时技术兼容8英寸晶体滚圆切片,可实现高效率、高质量、低成本、低损伤、高良品率碳化硅单晶衬底制备,解决了行业内传统加工方式亟需攻克的痛点问题。
据晟光硅研介绍,传统激光切割SiC晶圆时,能量的累积和传导是造成切割道两侧热损伤的主要原因,而微射流激光因水柱的作用,将每个脉冲残留的热量迅速带走不会累积在工件上,因此切割道干净利落。
详细来看,晟光硅研微射流激光方案加工SiC晶圆具备四大优势,一是无需对焦,水射流中的保持其中的激光完全平行,可实现30微米以下的损耗切割,确保了高质量的加工壁和切边,节约了材料成本;二是水射流避免了加工废料的堆积,高能水射流驱散废料离子避免加工毛刺,损伤层在3-4个微米,极大的降低后续抛磨难度;三是水射流冷却作用避免了热损伤和材料变化,使得晶圆曲翘度达到3.5微米左右,保证了材料的一致性;四是加工设备损耗小,比金刚线加工损耗大大降低,省去换耗材的时间和调校设备时间。
对于业务拓展方向,晟光硅研表示,“公司以碳化硅的成熟应用为起点,不断拓宽业务领域,已经延伸至氮化镓,超宽禁带半导体氧化镓、金刚石,陶瓷复合基板、航空航天复材等新领域的客户服务,集中解决高精加工行业痛点,为企业降本增效,为航空航天国防事业助力。”
据长三角G60激光联盟陈长军了解, 目前,碳化硅技术已经逐渐成熟,并且商业化生产已经开始碳化硅市场规模正在迅速增长。根据市场研究报告,碳化硅市场预计在未来几年内将保持高速增长,到2030年可能达到数十亿美元的规模。
来自:集微网、晟光硅研 雅时化合物半导体长三角G60激光联盟陈长军转载!
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