破真空阀内部结构图

金融界2024年3月15日消息，据国家知识产权局公告，沈阳富创精密设备股份有限公司申请一项名为“一种基于丝杠驱动的真空新型阀门“，公开号CN117704138A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，涉及半导体真空阀技术领域。该基于丝杠驱动的真空新型阀门，包括：腔体，所述腔体下端设置有阀板，所述阀板下端设置有阀壳连接板，所述阀壳连接板下端设置有升降轴，所述升降轴上端与阀板连接，所述阀壳连接板下端两侧连接有动力固定架，所述动力固定架下端连接有气缸，所述动力固定架一侧连接有两侧外壳，所述升降轴下端连接有中心固定架，的前表面连接有转接板，所述转接板前表面连接有齿条，所述齿条左右两侧连接有直齿轮，所述直齿轮内部连接有丝杆，所述升降轴前表面下端连接有丝杆螺母，所述齿条前表面连接有推力板，所述推力板下端连接有传递板，所述中心固定架下表面两端连接有弹簧。

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