硅片抛光研磨机

作者：程诺，编辑：小市妹

硅片，是制备半导体器件和太阳能光伏电池的重要材料，其主要原材料是常见的无机化合物二氧化硅，通过高温还原和化学纯化等技术处理得到高纯度晶体硅，再进一步制备而成。

现阶段，硅片的主要制备方法有Czochralski法、浮动区法和熔融翻转法等，制造过程中需要经过拉晶、截断、开方、磨倒、切片、清洗和分选等多道工序环节。

在半导体器件方面，硅片直径的增大可降低单个芯片的制造成本；在光伏行业，更大尺寸的硅片同样可以有效地降低生产成本。而伴随硅片直径的增大，对硅片表面局部平整度、氧含量和内部缺陷等关键参数的要求也在不断提高，从而对硅片的制造技术也提出了更高要求。

据国信证券数据，当下硅片设备单GW投资价约为1.5亿-2亿元，其中长晶和切片环节涉及的单晶炉设备价值量占比约65%-70%，切片机设备占比约15%，是硅片端的核心设备。

在全球光伏装机需求持续旺盛等因素影响下，国内硅片设备产业链上哪些企业最有望受益？

1、晶盛机电

国内光伏和半导体硅片设备龙头，成立于2006年，主营业务是围绕硅、碳化硅、蓝宝石三大主要半导体材料，研发、生产和销售光伏设备、半导体设备和LED衬底材料等产品，目前主要产品有全自动晶体生长设备、碳化硅长晶设备、晶体加工设备、晶片加工设备和外延设备等。

据官网，公司成立初期主要聚焦光伏单晶硅长晶炉领域；2007年，其成功研制出国内首台全自动直拉式单晶硅生长炉；2011年，其在蓝宝石晶体生长工艺上取得突破，研制出首台KY35S蓝宝石晶体生长炉；2012年，其承担国家科技重大专项，研制出国内首台8英寸熔硅单晶炉。

此后，公司逐步向光伏和半导体硅片设备领域完善布局，先后研发出8英寸硅外延炉、6-8英寸硅片用抛光机、12英寸半导体单晶炉、8-12英寸硅片用精密双面研磨机等设备。

当前，在半导体大硅片设备领域，公司已基本实现8英寸设备在长晶、切片、抛光和CVD等环节的全覆盖，以及12英寸设备在长晶、切片、研磨等环节的批量销售，产品已达国际先进水平。

在蓝宝石业务方面，公司已掌握了国际领先的大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和核心技术，生长出全球领先的700Kg级蓝宝石晶体，并已实现300Kg级及以上蓝宝石晶体的规模化量产。

此外，依托于长晶技术，公司自2017年开始研发碳化硅晶体生长设备和相关工艺，目前其已成功开发出6英寸、8英寸碳化硅晶体和衬底片，是国内少数可以供应8英寸衬底片的企业。

2、连城数控

国内领先的光伏及半导体设备供应商，成立于2007年，主营晶体生长与加工设备、光伏电池片与组件设备、光伏辅材以及相关自动化设备的研发、制造与销售等业务，主要产品有太阳能级单晶炉、半导体级单晶炉、多线切断机、多线切方机、硅片处理设备、ALD设备等。

据官网，公司是国内光伏领域最早从事专业切割设备研发与制造的企业，其于2008年研发出国内第一台光伏单晶多线切方机，成功打破国外垄断，后相继研发出多种切割设备；

2013年，公司率先在国内实现金刚线切片机的批量交付，帮助光伏行业整体降低硅片成本，同年，通过收购美国斯必克旗下凯克斯单晶炉事业部，其拓展布局至单晶炉业务领域；

2017年，通过并购日本东京制纲株式会社线切事业部，公司步入半导体硅片加工设备领域；后通过自主研发，其于2021年将业务拓展布局至光伏耗材及半导体新材料领域业务。

公司当前产品布局丰富。在光伏领域，其产品已覆盖上游硅片和中游电池、组件等产业链环节，其中晶体生长及加工设备已覆盖硅片生产的拉晶、截断、开方、磨面、切片、清洗等流程。

在半导体硅片领域，其拥有半导体单晶炉和切磨等设备，现已实现批量出货；在碳化硅领域，其拥有碳化硅晶体生长设备，目前已被部分行业头部企业小批量试用。

据公告，KX360MCZ是公司采用最先进技术生产的新一代300mm半导体单晶炉，可实现硬件软件的全部国产。2022年其成功生长出12英寸半导体级单晶硅棒，目前已完成客户验收。

3、高测股份

国内领先的光伏硅片切割设备企业，成立于2006年，主营光伏切割设备、光伏切割耗材、硅片及切割加工服务、创新业务切割设备及耗材四大板块业务，主要产品有环线截断机、单晶开方机、开磨一体机、金刚线切片机、金刚线、环形金刚石线、蓝宝石切割设备和耗材等。

据官网，公司凭借轮胎检测装备业务起家。2011年，其确立了“为高硬脆材料切割提供系统解决方案”的发展战略，开始布局光伏行业硅片制造的切割设备及耗材的研发工作。

专注深耕高硬脆材料加工领域多年，公司业务不断拓展。当前，其已实现光伏切割耗材、切割设备、硅片切割及加工服务业务的全覆盖，是国内领先的高硬脆材料切割方案提供商。

公司注重研发创新，截至目前，其已通过自主研发，建立形成了包括精密机械设计制造技术、自动化检测控制技术、精密电化学技术3项核心支撑技术及16项核心应用技术的核心技术体系。

据公告，在切片加工方面，公司已全面自主掌握从装备端到工具端的全流程工艺，可不断提高切片质量。其多次在行业内首发产品，并率先实现规模化量产，加快推进超薄硅片的产业化应用。

目前，公司自主研发且持续迭代生产出的切片核心装备GC-700X系列切片机，已能够全面兼容方片、半片、矩形片的市场主流规格，批量提供覆盖P型和N型多种尺寸厚度的硅片产品。

4、京运通

国内独立的硅片供应商，集光伏设备、硅片制造和终端电站于一体的新能源企业，成立于2002年，当前主要从事高端装备制造、光伏发电、新材料和节能环保四大板块业务。

公司产品有单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、多晶硅锭及硅片、直拉单晶硅棒及硅片、区熔单晶硅棒及硅片等光伏及半导体设备和产品，光伏、风力发电等新能源发电项目及脱硝催化剂等。

据官网，公司初期以光伏晶体生长设备业务起家；2008年，其推出的多晶硅铸锭炉成功量产并在全球率先实现单次800公斤的投料量，处国内领先水平；后随市场发展变化，其于2012年开始布局拓展新能源电站等业务；2017年，因补贴问题导致电站业务放缓，其进入硅片领域。

其中，在光伏设备业务方面，公司最早于2003年研发推出5英寸单晶硅生长炉并实现产业化，成功打破国外企业垄断，完成国产替代，后持续创新迭代。

在硅片业务方面，公司于2018年开始布局硅片制造领域，2019年乌海一期即开始投产。凭借强大的后发优势，其迅速完成了1600mm单晶炉的研制和出货、以及210mm硅片的出货任务。

近几年，公司在大硅片、薄片化以及N型硅片等方向不断突破，目前其已能够为客户提供多种尺寸、厚度的N型及P型硅片。据公告显示，基于较强的技术储备，公司现阶段新建硅片产能使用的单晶炉均为公司自主研发和生产，单晶炉产品技术水平已处于行业领先地位。

5、奥特维

国内光伏组件串焊机领域绝对龙头，前身成立于2010年，主营高端智能装备的研发、设计、生产和销售等业务，主要产品是应用于光伏、锂电和半导体领域的串焊机、划片机、排版机、贴膜机、硅片分选机、单晶炉、圆柱模组PACK线、软包模组PACK线、铝线键合机等。

据官网，公司前身是无锡奥特维科技，成立初期主要从事工业自动化集成业务；2013年，其自主研发推出首款单轨串焊机产品，并以此为切入口步入光伏组件设备领域；

2016年，通过并购深耕锂电设备的无锡奥特维智能装备，其切入锂电领域；2017-2018年，其拓展布局半导体设备市场，打破海外厂商垄断，成功研发出硅片分选机并实现规模化量产……

当前，在串焊机业务方面，随着N型电池片技术的逐渐成熟，公司不断丰富升级产品体系，推出了适用于N型电池片的大尺寸超高速串焊机、SMBB串焊机等产品，行业市占率已超70%。

在硅片业务方面，公司目前已拥有高速硅片分选机、直拉式单晶炉（包括低氧型）以及配套的炉外加料机等产品，其中直拉式单晶炉性能现已达行业领先水平，产品性能优异。

据公告，自2021年投产以来，公司单晶炉产品已得到天合光能、晶科能源、晶澳太阳能等行业头部客户认可。而其于10月底发布的新一代单晶炉SC-1600-Ⅲ，降氧效果再度升级，氧含量可降至6ppm-7ppm，且消除了同心圆问题，并可通过AI技术导入实现一键拉晶。

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