误差分为哪三大类
金融界2024年4月4日消息，据国家知识产权局公告，杭州广立微电子股份有限公司取得一项名为“一种测量套刻误差的方法及测试结构“，授权公告号CN113296365B，申请日期为2021年1月。
专利摘要显示，本发明公开了一种测量套刻误差的方法及测试结构，可应用于晶圆套刻误差的测量。所述测试结构由第一光罩和第二光罩按预置套刻偏移量交叉叠加组合，所述预置套刻偏移量分为零偏移量、左偏移量及右偏移量。本发明通过设计的测试结构结合电学测量法来准确测量晶圆的套刻误差，相对于传统的光学测量法，本发明中的电学测量法更易于实现，测量值接近于真实的套刻误差，且不仅能表征晶圆在光刻工艺过程中表面产生的套刻误差，同时能从立体角度表征整体的套刻误差。
本文源自金融界
","gnid":"90fde5a32b3caaa8d","img_data":[{"flag":2,"img":[]}],"original":0,"pat":"art_src_3,fts0,sts0","powerby":"pika","pub_time":1712204760000,"pure":"","rawurl":"http://zm.news.so.com/1e747289bec45da35bb68af9c041b919","redirect":0,"rptid":"9c8d80c6570e38cf","rss_ext":[],"s":"t","src":"金融界","tag":[{"clk":"ktechnology_1:金融界","k":"金融界","u":""}],"title":"广立微取得一种测量套刻误差的方法及测试结构专利，能准确测量晶圆的套刻误差
阎购朗1716测量误差分成哪几类? -
游念柱17131899290 ______[答案] 1、绝对误差: 定义为:Δx=x-A0 2、相对误差 (1)实际相对误差 (2)示值相对误差 (3)满度相对误差 (4)分贝误差: Gx=20 lgAu(d B)
阎购朗1716物理(工) 测量误差有几类?它们有什么不同? -
游念柱17131899290 ______ 从来源看,误差可以分成系统误差和偶然误差两种.也有分为系统误差、偶然误差和粗大误差三类. 粗大误差一般是由人为原因造成,严格讲,是一种错误,不能算是误差,是完全可以避免的. 系统误差是由于仪器本身不精确,或实验方法粗...
阎购朗1716测量误差有几类?它们有什么不同? -
游念柱17131899290 ______[答案] 从来源看,误差可以分成系统误差和偶然误差两种.也有分为系统误差、偶然误差和粗大误差三类.粗大误差一般是由人为原因造成,严格讲,是一种错误,不能算是误差,是完全可以避免的.系统误差是由于仪器本身不精确,或实验方...