pvd镀膜工艺学习

金融界2023年12月13日消息，据国家知识产权局公告，大博医疗科技股份有限公司申请一项名为“一种医用材料钽涂层PVD镀膜工艺“，公开号CN117210788A，申请日期为2023年9月。

专利摘要显示，本发明涉及一种医用材料钽涂层PVD镀膜工艺，包括：S1、对所述医用材料进行电子束增强等离子体清洗改性，采用氩离子轰击医用材料表面；S2、对经过S1处理的所述医用材料表面进行金属离子轰击，通过离化源产生的带电金属离子通过高负偏压加速轰击所述医用材料表面；S3、在经过S2处理的所述医用材料表面沉积过渡层和金属膜层，所述过渡层通过反应气体进行梯度沉积，所述金属膜层以钽作为靶材。该工艺可以在医用材料上获得结合力强、镀层致密、生物相容性且具备射线不透性金属膜层，通过梯度反应气体、负偏压、靶电流沉积到医用材料表面形成钽膜层，梯度镀膜降低钽金属堆叠过程产生的应力，增加膜层的可靠性，具有优异的机械性能。

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甫珠该5047请问各位大侠PVD是真空电镀的意思吗?? -
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