硼扩散工艺流程

10月8日晚，隆基发布分布式Hi-MO X6光伏组件，采用了隆基自研的HPBC（Hybrid Passivated Back Contact）技术，即复合钝化背接触电池技术，隆基表示由于正面无栅线，该组件增加了2.27%的光线吸收，平均发电增益达到2.04%，最高增益可达6%。

HPBC电池是BC电池的一种，基本结构为IBC结构，目前主流技术路线为单晶PERC电池，而TOPCON、HJT和IBC电池被认为是N型电池接下来发展的三个主要方向，三者最高转化效率均超过PERC电池。

虽然隆基在发布会上再次表示未来5-6年BC电池技术将会是晶硅电池绝对主流，但市场对此并不买账，10月9日至今隆基股价下跌1.51%，而BC电池指数期间也下跌0.96%，对于BC电池应该怎么看，市场为什么对BC电池反应平淡，本文来分析一下。

IBC（Interdigitated Back Contact）电池即叉指状背接触电池，是一种单面电池技术，结构特点是在电池正面沉积了钝化膜和减反膜，无金属栅线，在硅片背面分别进行磷和硼扩散，形成叉指形交叉排列的p+区和n+区，电池背面金属正负极也呈现叉指状排列。

根据硅片基底类型的不同，IBC电池分为P型IBC以及N型IBC电池，IBC电池由于前表面收集到的载流子需要穿过衬底扩散至背面电极，因此一般采用少子寿命更高的N型单晶硅衬底，隆基的HPBC电池采用的则是以P型硅片为基底的IBC电池。

与其他电池相比，IBC电池由于PN结和金属电极都位于电池背面，正面无金属栅线的遮挡，避免了由于金属栅线带来的遮光损失，增大了电池对入射光的吸收利用率，较其他电池短路电流更大，同时还可加宽栅线比例从而降低电池串联电阻，提高电池的填充因子。

此外，由于电池正面没有金属栅线的影响，还可对其表面钝化和陷光结构进行最优设计，降低电池正面电子-空穴对复合以及表面反射；其正面无栅线也使得电池更加美观，更适合分布式光伏建筑一体化市场。

但IBC电池缺点同样明显，首先是制备工艺流程复杂，需要通过扩散掺杂、钝化镀膜和金属化栅线等工艺在电池背面制备出叉指状间隔排列的P区和N区，分别形成金属化接触和栅线，过程中需要进行多次掩膜和光刻。

同时为了避免光生载流子在到达电池背面pn结之前发生复合，进而降低电池转化效率，IBC电池除了对基体材料要求较高，需要较高少子寿命外，还对电池正面钝化要求较高，以降低表面复合。

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