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sem检测

来源:baiyundou.net   日期:2024-09-24

金融界2024年3月5日消息,据国家知识产权局公告,三星电子株式会社申请一项名为“扫描电子显微镜(SEM)测量方法和装置“,公开号CN117647180A,申请日期为2023年8月。

专利摘要显示,提供了一种扫描电子显微镜(SEM)测量方法和/或装置,其根据相同图案的若干SEM图像中的关键尺寸(CD)测量中的测量区域的位置校正来减小CD离散。该SEM测量方法包括:经由SEM在晶片上的多个位置处获得各个SEM图像;通过对准各个SEM图像和合并各个SEM图像来生成合并的SEM图像;在合并的SEM图像中生成合并的测量区域;在各个SEM图像中生成与合并的测量区域相对应的各个测量区域;以及测量各个测量区域中的各个关键尺寸(CD)。

本文源自金融界

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季晴贵882SEM图象的黑白对比都与什么因素有关?rt
计倪闻15388134391 ______ "主要取决于样品产生二次电子的多少,与加速电压、探针电流、样品倾斜、形貌都... SEM图像的反差只能是黑白的. 2.SEM样本室内的不同的探测器收集不同的信号,...

季晴贵882什么是SEM? -
计倪闻15388134391 ______ 在化学化工里,SEM是scanning electron microscope的缩写,指扫描电子显微镜是一种常用的材料分析手段. 扫描电子显微镜于20世纪60年代问世,用来观察标本的表面结构.其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次...

季晴贵882SEM,TEM,AFM检测生物样品都有什么不足 -
计倪闻15388134391 ______ SEM,TEM,AFM检测生物样品都有什么不足 透射电镜(TEM)的放大倍数要比扫描电镜(SEM)的高,当然两则的成像原理也是不同的,如果需要观察纳米颗粒在聚合物中的分散情况,你就必须要用TEM来观察了,SEM通常看材料的缺口断面...

季晴贵882通过测SEM怎么知道材料中各元素的含量,准确不?
计倪闻15388134391 ______ 扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份,只能测试材料表面,根据电压不同测试的厚度不同,且轻元素是测试不了的,不记得是Be还是B之前的元素了,反之从C开始都能测试到,准确性很差.

季晴贵882FTIR和SEM是什么? -
计倪闻15388134391 ______ 傅立叶转换红外线光谱(FTIR)测试:FTIR技术可以用来侦测各种不同的化学分子,并且对於同时出现的不同种类化学物质具有相当高的鉴别率.(SEM)扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提...

季晴贵882关于扫描电镜(SEM)的测试问题?
计倪闻15388134391 ______ 可以做,就是如果粉末物质具有磁性的话,扫描时可能会变形,但是影响不大

季晴贵882纳米二氧化钛颗粒用SEM检测是什么状态? -
计倪闻15388134391 ______ 这个不一定,主要看你检测产品的本身形貌了.如果是圆形颗粒,那么出来的SEM图就应该是圆形如鹅卵石般颗粒的立体图像.方形的一样.给你个图片看一下吧.

季晴贵882请问SEM是什么 -
计倪闻15388134391 ______ SEM scanning electron microscope.扫描电子显微镜.当然还有其它的解释. 工作原理: 从电子枪阴极发出的直径20(m~30(m的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用,射向镜筒,经过聚光镜及物镜的会聚作用,缩小成直径约几毫微米的电子...

(编辑:自媒体)
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